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[세미콘코리아] 반도체산업용 가스제어솔루션 제시

[세미콘코리아] 반도체산업용 가스제어솔루션 제시

김원정 기자 2023.02.05

세미콘코리아(SEMICON KOREA) 2023에 참가한 로타렉스 코리아(ROTAREX KOREA)는 밸브, 커넥터 등 가스 제어 솔루션을 선보였다. 업체 관계자는 반도체 산업 등에서 요구하는 초고순도(UHP : Ultra High Purity) 가스 제어를 위한 다이아프램밸브(Diaphragm Line Valve), 레귤레이터(Regulator), 피팅(Fitting), 커넥터(Connector) 등을 참관객들에게 소개하기 위해 전시회에 참가했다고 했다. 또한 “가스 엔지니어링 업체나 공사 프로젝트 등을 진행할 때 납기가 중요한 부분 중 하나다. 기존에는 해외에서 수입해 국내로 들여오면서 납기가 길었지만 한국 내 생산공장이 완공돼 단납기가 가능해질 것으로 기대한다”라고 말했다. 룩셈브르크에 본사를 두고 있는 로타렉스는 지난해 11월 충청남도 아산시에 신공장을 준공한 바 있다. 한편, SEMICON KOREA 2023은 1일부터 3일까지 서울 삼성동 소재 코엑스 전관에서 개최했다.

[세미콘코리아] 정밀 공압 기술로 구현한 모션 제어와 협동로봇

[세미콘코리아] 정밀 공압 기술로 구현한 모션 제어와 협동로봇

조해진 기자 2023.02.04

공압 및 자동화 전문 글로벌 기업 훼스토(Festo)의 한국법인 한국훼스토(주)가 서울시 삼성동 코엑스(COEX)에서 열린 ‘세미콘 코리아 2023(SEMICON KOREA 2023)’에 참가해 공압 기술로 구현한 다양한 제품들을 전시했다. 훼스토의 공압 기술력을 집약한 생체 모방형 제비 로봇(BionicSwift) 시연으로 관람객들의 시선을 사로잡은 훼스토는 부스 내에서 기술 세미나(Expert Talk)를 열고, 모터가 아닌 공압 회전 드라이브로 작동하는 협동로봇(Cobot)과 피에조(Piezo) 정밀 공압 제어 기술 등에 대해 발표했다. 훼스토 로봇 사업개발부(Business Development Robotics)의 바이간드 크리스토퍼(Waigand Christopher)는 “협동로봇의 수요가 점점 더 증가하고 있다. 수십 년 동안 쌓아온 훼스토의 핸들링 시스템과 공업 기술의 노하우를 바탕으로 4관절 로봇을 개발했다”고 말했다. 일반적인 전기 로봇은 동력을 얻기 위해 모터, 토크센서, 감속기가 필요하다. 그러나 훼스토는 공압 회전 드라이브와 피에조 밸브를 통해 제어가 가능한 공압 협동 로봇을 개발해 유연하고 부드러운 로봇의 움직임을 가능하게 했다고 설명했다. 크리스토퍼는 “로봇 분야에 대한 전문 지식이 전혀 없는 사람도 이 로봇을 사용할 수 있게 설계했다”면서 “작업자 중심의 편리한 인터페이스로 쉽게 로봇을 프로그래밍 할 수 있으며, 타사 에코 시스템과도 구성이 가능하다”고 덧붙였다. 공압 코봇은 올해 하반기쯤 본격적인 상용화에 돌입할 예정이다. 훼스토 글로벌 자동화 엔지니어링부(Global Automation Engineering Electronic)의 라만 카틱(Raman Karthik)은 훼스토의 정밀 공압 기술인 피에조(Piezo) 기술에 대해 소개했다. 카틱은 “피에조 기술은 일반 실생활에서 많이 사용되고 있다. 자동차의 연료 분사 시스템, 스피커, 헤드폰 등에 적용된다”면서 “피에조 기술은 기본적으로 비례 제어가 가능하고, 에너지를 굉장히 적게 사용한다. 열에 의한 부작용도 방지할 수 있다”고 말했다. 피에조 기술을 적용한 밸브를 들고 나온 칼틱은 피에조 밸브를 이용해 유량 제어, 압력 제어 등이 가능하다고 했다. 사용하는 공기의 양을 줄이거나 정밀하게 압력을 조절할 수 있어 작업의 퍼포먼스를 향상시킬 수 있다는 설명이다. 모션 컨트롤에도 적용이 가능한데, 전동 시스템에 비해 플렉서블하게 사용할 수 있어 기존 일반 공압 기술로는 어려웠던 가감속 제어나 멀티 포지션 제어, 속도 제어 등이 가능한 솔루션이라고 덧붙였다. 이번 전시회에서 한국훼스토는 피에조 기술을 적용한 웨이퍼 핸들링 솔루션을 주력으로 전시했다. 웨이퍼는 아주 미세한 흠집이라도 발생하면 안 된다. 따라서 핸들링을 할 때에도 이송 높이 등을 매우 정밀하게 조절해야 한다. 한국훼스토 양성윤 어플리케이션 엔지니어는 “모터로 핸들링을 하면 온도나 자기장과 같이 노이즈가 발생할 수 있는 조건까지 세밀하게 맞춰야 하지만, 공압 기술을 적용하면 이러한 조건들을 많이 생략할 수 있어 더 적은 공간에서 효율적으로 움직일 수 있다”고 설명했다. 이 밖에도 훼스토는 인공지능(AI) 및 머신러닝을 이용한 시스템 모니터링 솔루션, 에너지 절약 제품 솔루션 및 서비스 등도 함께 소개했다. 한편, 국제반도체장비재료협회(SEMI)가 주최한 세미콘 코리아는 3일 폐막했다.

[세미콘코리아] 'AXI'로 양면 기판 및 BGA 실장 부품의 불량 검사

[세미콘코리아] 'AXI'로 양면 기판 및 BGA 실장 부품의 불량 검사

김원정 기자 2023.02.04

(주)쎄크는 세미콘코리아(SEMICON KOREA) 2023에 참가해 산업용 엑스레이(X-ray) 검사장비와 주사전자현미경(SEM) 등을 전시하며 참관객을 맞았다. 구준회 부장은 “산업용 자동엑스레이검사기(AXI : Automated X-ray Inspection)인 엑스아이(X-eye 6300)는 고속 3D 인라인 검사가 가능하다. 중첩돼 보여지는 엑스레이 이미지의 단점을 해결함으로써 양면 기판(Double-sided PCBA) 및 BGA 실장 부품의 불량을 검사할 수 있다”라고 했다. 딥러닝 기술을 통해 불량 검사의 정확도는 향상되고 있지만, AI의 고도화를 위한 전문 데이터 확보에는 어려움이 지속되고 있다. 구 부장은 “AI를 고도화시키기 위해서는 유의미한 수많은 데이터 확보가 관건이다. 그런데 기업의 보안적인 측면에서 데이터 수집이 쉽지 않은 것 또한 현실이다”라며, 모아진 데이터를 라벨링하는 등의 과정 역시 수작업이 필요하기 때문에 이상적으로 생각하는 AI 고도화까지는 시간이 좀 더 걸릴 것으로 내다봤다. 이 회사는 AXI 외에도 테이블탑(Tabletop) SEM 신모델인 알파(ALPHA)를 출품했다. 이 제품은 입도분석, 3D 렌더링 기능을 채용하면서 기존 이 회사의 SEM보다 사용성을 확장했다. 한편, 1일부터 3일까지 서울 삼성동 소재 코엑스 전시관에서 개최한 SEMICON 2023에는 반도체 관련 글로벌 칩메이커, 소재·부품·장비 기업 등 450여 개 사가 참가했다.

[SEMICON KOREA] 반도체 산업의 지속가능성, 기업 간 협업 중요

[SEMICON KOREA] 반도체 산업의 지속가능성, 기업 간 협업 중요

전효재 기자 2023.02.03

지속가능성은 모든 산업에 걸쳐 중요한 요소가 되고 있다. 특히 탄소중립은 지속가능성을 달성하기 위한 바탕으로, 전 세계 기업의 목표가 되고 있다. 반도체 업계도 자유로울 수 없다. 유럽의 탄소 국경 제도, 미국의 인플레이션 감축법이 직접 반도체 산업을 타겟으로 삼고 있지는 않지만, 다양한 산업에 분포된 반도체 업계는 고객사들에게 간접적인 영향을 받기 때문이다. 이와 관련해 반도체업계의 지속가능성을 논의하는 ‘지속가능성 포럼(Sustainability Forum)’(이하 포럼)이 서울 코엑스(COEX)에서 열린 ‘세미콘코리아 2023(SEMICON KOREA 2023)’의 부대행사로 2일 진행됐다. 서현정 삼성전자 DS(Device Solutions)부문 지속가능경영사무국 상무, 염인지 맥킨지 인코포레이티드 부파트너가 연사로 참여해 지속가능성을 달성하기 위한 방향성을 공유했다. 지속가능성, 반도체 업계의 ‘미룰 수 없는 숙제’ 염인지 부파트너는 철강, 오일 및 가스, 자동차 등 전 세계 다양한 기업들이 탄소중립(Net-Zero)를 향한 목표를 발표하는 추세라며, 지속가능성은 반도체 산업의 ‘미룰 수 없는 숙제’가 됐다고 강조했다. 애플의 사례로 이를 뒷받침했다. 애플은 2030년까지 탄소 배출량을 70% 줄이겠다고 발표했다. 아이폰의 전체 생애 주기 중 탄소 배출량의 70%가량이 제조 단계에서부터 발생하는 만큼, 애플의 탄소 저감 선언은 결국 칩 제조사를 향한 압박이라는 것이다. 서현정 상무도 비슷한 의견을 내놨다. 반도체업계가 스콥(Scorp)3를 포함한 기후 공시, 노동 인권, 공급망 등 많은 측면에서 지속가능성과 관련된 요구를 받고 있다는 것이다. 그러면서도 “대응만 잘 하면 새로운 경쟁력을 창출할 기회가 된다”고 전망했다. 서 상무는 탄소 발자국 공시 요구에 대응해 반도체 사업에 대한 ‘전과정평가(Life Cycle Assessment)’ 프로세스를 구축했다고 언급했다. 제품의 원료 채취부터 생산, 폐기까지 탄소 배출량을 정량화하고 환경 영향을 산출, 국제 표준에 부합함을 인증 받았다는 것이다. 그는 “앞으로 증가될 고객의 요구에 선제적으로 대응해 제품 데이터를 투명하게 공시할 것”이라고 밝혔다. 탄소중립 실현을 위해 기업 간 협업 중요 서현정 삼성전자 상무는 “지속가능성은 한 기업이 달성할 수 없다”고 했다. 모든 산업이 공급 및 가치 사슬로 연결되어 있기 때문에 다양한 이해관계자의 협력이 필요하다는 의미다. 삼성전자는 지난해 11월 전 세계 반도체 산업의 핵심 기업과 함께 ‘반도체 기후 컨소시움(SCC, Semiconductor Climate Consortium)'을 결성했다. 업계 표준을 구축해 온실가스 감축을 현실성 있게 구체화하기 위해서다. 염인지 맥킨지 부파트너도 기업 간 협업의 중요성을 강조했다. 그는 “부품 업체는 탄소중립의 필요성과 우선순위를 모르고, 파운드리 업체는 새로운 솔루션을 홀로 개발하려면 상당한 비용이 든다”면서, “파트너사들이 긴밀히 협력해 공정 가스 대체 로드맵을 수립하고, 탄소 저감 솔루션을 개발해야 한다”고 설명했다. 또 제조사, 매뉴팩처, 화학회사, 장비사가 협력하면 도입할 기술을 개발 및 적용할 수 있는 범위가 넓어지고, 재생에너지 도입을 위한 투자비를 나눌 수 있는 장점도 있다고 덧붙였다. 2050년 탄소중립, 완벽보다 빠른 움직임 필요 탄소중립을 달성하기 위해 기업의 협업을 통한 기술 혁신이 빠르게 이루어져야 한다는 의견도 나왔다. 많은 기업이 2030년, 2050년을 향해 탄소중립 목표를 발표했지만, 맥킨지는 반도체 공정 가스 교체, 가스 저감 시스템 설치, 에너지 소비량 절감, 재생에너지 도입 등 모든 방법을 동원해도 2050년 달성은 역부족이라고 분석했다. 특히 제조 공정 가스 유형별 탄소 배출량과 대기 오염 수준을 비교해본 결과, 반도체 세척에 주로 사용하는 NF3 가스는 대기 중에 방출되면 대략 500년 간 지속돼 온난화에 큰 역할을 할 수 있는 것으로 나타났다. 빠른 기술 혁신이 필요한 이유다. 기후 변화는 이제 몸소 느낄 수 있는 현상이 되고 있다. 중요한 것은 고객도 환경 변화의 중요성을 이해하고 기업에 지속가능성을 요구하고 있다는 점이다. 염 부파트너는 “완벽을 추구하기 보다는 빠르게 움직여야 한다”면서 반도체 업계의 탄소 중립 속력을 높여야 한다고 촉구했다.

[세미콘코리아] 온·습도컨트롤러, 무접점릴레이 등 전시

[세미콘코리아] 온·습도컨트롤러, 무접점릴레이 등 전시

김원정 기자 2023.02.03

자동제어 전문 기업 ㈜한영넉스(HANYOUNGNUX)는 세미콘코리아(SEMICON KOREA) 2023에 참가해 온·습도컨트롤러, 무접점릴레이, 전력조정기 등을 전시했다. 김경석 차장은 회사의 기술력에 대한 자부심을 드러냈다. 1972년 설립 후 50여 년의 업력을 쌓아온 한영넉스는 제품 품질의 신뢰성을 강화해왔다며, 특히 제품 개발에서 완제품 생산까지 제품의 전체 제조공정을 갖추며 고객에 니즈에 빠르게 대응하고 있다고 김 차장은 소개했다. 한편, SEMICON KOREA 2023은 1일부터 3일까지 서울 코엑스 전관에서 국내외 450여 개 기업이 참가한 가운데 반도체 생산 관련 장비, 재료, 부품, 소프트웨어 등을 선보였다.

[SEMICON KOREA] 가스 및 유량 조절하는 ‘IGS’ 시스템

[SEMICON KOREA] 가스 및 유량 조절하는 ‘IGS’ 시스템

김지운 기자 2023.02.03

3일 서울 삼성동 코엑스(COEX)에는 세미콘 코리아 2023(SEMICON Korea 2023)이 진행 중이다. 이날 행사에 참가한 주식회사 유니락은 케미컬 공정 설비에 필요한 IGS(Integrated Gas System)을 선보였다. 케미컬 및 반도체 공정에서는 다양한 가스가 활용된다. 특히 웨이퍼 제조 시, 필요한 양의 가스를 조절하기 위해 밸브와 레귤레이터의 역할이 필요하다. IGS(Integrated Gas System)은 밸브 및 레귤레이터를 모듈화한 시스템으로, 입력값을 통해 원하는 양의 가스 및 유량을 조절할 수 있다. 이러한 시스템은 고품질의 반도체를 양산하기 위해 삼성과 SK하이닉스를 중심으로 관련 공정에 필수로 적용되고 있다. 이 회사의 제품 또한 마찬가지다. 유니락 관계자는 “최근 반도체 기업의 니즈를 공략하기 위해 제품 모듈화 전략을 통해 확대시켜 나가고 있다”라고 설명했다. 그러면서 “우리 기업은 피팅 밸브 제조 회사로, 가스나 오일을 조절하는 정유용 제품 위주로 개발했었다. 하지만, 시장 영역을 확대해 반도체 분야로도 적극 진출하고 있다”며 “실제로 케미컬 및 반도체 분야에서 훨씬 많은 매출이 발생하고 있다”고 설명했다. 한편, 이번 전시회는 오늘(3일) 폐막한다.

[세미콘코리아] 탄소중립·RE100 등에 대응한 진공펌프 선보여

[세미콘코리아] 탄소중립·RE100 등에 대응한 진공펌프 선보여

김원정 기자 2023.02.03

탄소 배출을 줄이기 위한 국내 정책 규제와 산업계의 노력이 진행되고 있다. EU의 탄소국경조정제도, RE100, ESG 경영이 대표적이다. 이에 따라 장비 공급기업들도 에너지를 절감할 수 있는 제품 개발에 나서고 있다. 1일부터 3일까지 코엑스 전관에서 개최 중인 세미콘코리아(SEMICON KOREA) 2023에 참가한 ㈜엘오티베큠(LOTVACUUM)도 고효율 및 에너지 절감에 초점을 맞춘 건식진공펌프와 관련 기술력을 선보였다. 건식진공펌프는 반도체, 디스플레이, 태양광, 2차전지 등 첨단 산업 분야에 적용되고 있다. 이성화 부장은 “해외는 물론 국내도 RE100 등 탄소중립 이행에 동참하고 있다. 이에 따라 제품 개발 및 제조할 때도 에너지를 감축할 수 있는 부분에 중점을 두고 있다”라고 말했다. 또한 제품 크기의 소형화와 기능의 복합화 추세에 대해 언급했다. “부식성, 폭발성 등이 높은 가스를 사용하는 수요자의 경우 범용 제품보다는 다양한 가스특성에 특화된 안전성 및 내구성이 높은 제품을 요구하고 있다”라고 했다. 한편, SEMICON KOREA 2023은 국제반도체장비재료협회(SEMI)가 주최로, 450개 사가 2천15부스 규모로 참가했다. 전시회와 함께 20여 개의 컨퍼런스를 전시기간 중 진행했다.

[SEMICON KOREA] 부스 앞 관람객 맞이하는 홀로그램 ‘로봇’

[SEMICON KOREA] 부스 앞 관람객 맞이하는 홀로그램 ‘로봇’

김지성 기자 2023.02.03

3일 세미콘 코리아 2023(SEMICON Korea 2023)이 진행 중인 서울 삼성동 코엑스(COEX) D홀에는 홀로그램 속 로봇이 부스 앞에서 관람객을 맞이하고 있다. 한편, SEMI(국제반도체장비재료협회)가 주관한 이번 전시회는 오늘까지 열린다.

인터몰드 2023, 하이브리드 전시회로 개최

인터몰드 2023, 하이브리드 전시회로 개최

조해진 기자 2023.02.03

한국금형공업협동조합(이하 금형조합)이 2일 경기도 시흥시 한국금형기술교육원 컨퍼런스룸에서 ‘제26회 국제금형 및 관련기기전(INTERMOLD KOREA 2023)’(이하 인터몰드 2023) 출품업체 회의를 진행했다. 약 100여 명의 인원이 참석한 이번 회의는 인터몰드 2023의 개요와 운영 방안에 대한 설명과 함께 출품기업들의 질의응답 시간이 이어졌다. 이날 금형조합의 임영택 전무이사는 “코로나19 때문에 2019년 이후 4년 만에 전시회를 열게 됐다”면서 “2020년 초부터 3년 동안 산업뿐만 아니라 온 국민들이 힘들었고 지금도 어려운 상황이지만 이렇게 대면할 수 있게 돼 기쁘다”고 말했다. 임 전무는 “아직 산업계가 정상화를 못하고 있다고 판단하고 있다”면서 “이번 전시회가 성공적으로 치러진다면 인터몰드도 지속 성장하고, 기업들을 도와줄 수 있을 것이다. 올해 전시회가 내년을 준비하는 행사가 될 것”이라고 4년 만에 오프라인으로 진행되는 인터몰드의 의의를 밝혔다. 그는 전시회 등을 비롯해 금형산업의 활성화를 위해 많은 노력을 하고 있는 만큼, 기업들 또한 최선을 다해줄 것을 당부했다. 인터몰드 2023의 개요와 운영 방안에 대해 설명한 금형조합 최명종 부장은 “코로나19로 인해 2019년 이후 부득이하게 오프라인 전시회를 취소하고 온라인 전시회로 전환해서 개최했다”면서 “올해는 오프라인과 온라인을 같이 개최하는 하이브리드 전시회로 진행한다”고 밝혔다. 부대행사로는 세미나와 함께 일본과 미국, 유럽 등 수입 희망 업체 30여 개사의 해외 바이어를 초청한 수출상담회를 진행한다. 금형 및 부품 업체들에 대한 해외 수출을 연계할 수 있도록 하기 위함이다. 최 부장은 “현재까지는 금형과 부품 분야에 대해 해외 수출 상담회를 진행하고 있지만, 향후 품목이나 규모를 확대할 수 있도록 검토할 예정”이라고 덧붙였다. 한편, 총 15개국 300개사, 1천200부스 규모로 열리는 인터몰드 2023은 3월 14일부터 18일까지 경기도 고양시 킨텍스(KINTEX) 제1전시장에서 ‘제27회 국제 플라스틱·고무산업전(KOPLAS 2023)’과 동시 개최한다.

[세미콘코리아] 실링 및 진공압력 제어 가능한 밸브 출품

[세미콘코리아] 실링 및 진공압력 제어 가능한 밸브 출품

김원정 기자 2023.02.03

노바센(NOVASEN)(주)는 1일부터 3일까지 서울 코엑스에서 개최하는 세미콘코리아(SEMICON KOREA)에 참가해 진공압력을 제어하는 밸브 등을 소개했다. 진공제어사업부 장민석 이사는 “반도체, 디스플레이 공정에 주로 사용하는 진공압력 제어 밸브인 APC(Adaptive Pressure Control) 펜듈럼 밸브(Pendulum Value)는 진자가 움직이는 것처럼 왕복운동을 하며 압력을 제어할 수 있다”라고 설명했다. 또한 기능의 복합화를 원하는 수요자의 요구에 발맞춰 하나의 밸브로 압력 제어와 실링 기능을 갖춘 제품으로 개발했다고 밝혔다.

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